Inspec RTR AOI/AVI 自動檢查機
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產品特色
- 捲對捲自動光學檢查機
- 連續式基板缺陷光學檢查，檢查不停止，檢查速度可達360m/小時(L/S:35um)。
- 搭配高解析度CCD，可檢查7/7um以上的線寬/線距。
- 運用測長線功能，實現低過檢/低漏檢的缺陷檢查。
- 可選擇搭配RTR缺陷複檢機/Soft verify/Punch機。
產品資訊
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原廠名稱
Inspec Inc. -
製程名稱
內層/外層/外觀缺陷檢查 -
英文名稱
RTR AOI/AVI Automatic Inspection Machine -
產品細目
客製光學表面檢查機
